碳硅分析仪的维护主要分三个方面来介绍：
一、碳硅分析仪属金属机械类仪器，温度和湿度是影响这类仪器性能的重要因素。它们会引起碳硅分析仪相关机械部件的锈蚀，并使金属镜面的光洁度下降，光学部件锈蚀，导致仪器机械部分的误差或性能下降以及产生光能不足、杂散光、噪声等问题，严重的话还会影响到仪器寿命和正常的使用。
解决方案：为企业配备相应的恒温恒湿实验室。
二、碳硅分析仪所处的环境很重要，空气中的尘埃和腐蚀性气体同样会影响机械系统的灵活性、降低各种限位开关、按键、光电偶合器的可靠性，也是造成光学部件锈蚀的原因之一。
解决方案：定期清洁，做好防尘工作，保障碳硅分析仪所处环境和卫生条件。
三、碳硅分析仪在长时间使用之后，内部会积累一定量的尘埃，会影响到仪器的使用。
解决方案：定期拆开碳硅分析仪对内部进行除尘工作，并对内部的机械部件润滑，保持内部清洁，完成后再进行检测、调校与记录。
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